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采用MEMS工艺在两层高阻硅衬底上研制了一种低损耗的X波段滤波器.使用HFSS软件进行了结构仿真及优化,得到的带内损耗小于2dB,带外抑制大于40dB.设计了该滤波器的工艺流程并进行了投片,经测试,获得的滤波器的测试结果与仿真结果比较接近.
一种低损耗X波段微机械带通滤波器的设计与实现
【摘 要】
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采用MEMS工艺在两层高阻硅衬底上研制了一种低损耗的X波段滤波器.使用HFSS软件进行了结构仿真及优化,得到的带内损耗小于2dB,带外抑制大于40dB.设计了该滤波器的工艺流程并进
【机 构】
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中国电子科技集团公司第十三研究所
【出 处】
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中国机械工程
【发表日期】
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2005年z1期
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