硅片上磷硅玻璃薄膜中磷的分析

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利用二氧化硅及磷硅玻璃溶于氢氟酸溶液,而单晶硅不溶的特点将其分离。然后使磷酸与钼酸铵生成磷钼杂多酸,大量硅用酒石酸钾钠及提高酸度加以抑制。用二氯化锡将磷钼杂多酸还原成钼蓝,进行光度法测定。一试剂氯化亚锡溶液:0.1%,每100ml加2滴浓盐酸; 磷标准溶液:0.05mg ml~(-1),用磷酸二氢钾配制。二检量线的绘制于一组100ml量瓶中加入0,1,2……5ml磷标液,用水稀至10ml,加对硝基酚指示剂(0.1%)2滴,用氢氧化钠溶液(0.1%)调节至淡黄色,加入硼酸饱和溶液20ml,硫酸(1+4)8ml,酒石酸钾钠溶液(10%) The use of silica and phosphosilicate glass dissolved in hydrofluoric acid solution, while the characteristics of insoluble monocrystalline silicon will be separated. Phosphoric acid and ammonium molybdate then generate phosphomolybdic heteropolyacid, a large amount of silicon with potassium sodium tartrate and increase acidity to be suppressed. Phosphorus molybdenum heteropoly acid was reduced to molybdenum blue with tin dichloride, and the photometric determination was carried out. A reagent stannous chloride solution: 0.1%, 100ml each drop plus 2 drops of concentrated hydrochloric acid; phosphorus standard solution: 0.05mg ml ~ (1), formulated with potassium dihydrogen phosphate. Two calibration curve drawing In a set of 100ml volumetric flask add 0,1,2 ... 5ml phosphorus standard solution, diluted with water to 10ml, add 2 drops of p-nitrophenol indicator (0.1%), with sodium hydroxide solution (0.1%) adjusted to pale yellow, add 20ml saturated solution of boric acid, sulfuric acid (1 +4) 8ml, potassium sodium tartrate solution (10%
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