【摘 要】
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本文研究了STEM/CTEM物镜与适应多种研究功能的样品工作台的协调设计问题、部份饱和的磁透镜的聚光镜—物镜的电子光学性质、高分辨工作特点及其计算机辅助设计方法.设计出了
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本文研究了STEM/CTEM物镜与适应多种研究功能的样品工作台的协调设计问题、部份饱和的磁透镜的聚光镜—物镜的电子光学性质、高分辨工作特点及其计算机辅助设计方法.设计出了能同时应用顶部插入及侧面插入样品工作台的物镜.该物镜具有较高的理论分辨本领,且可以简单方便地实现CTEM与STEM工作模式间的转换.该物镜的实测和使用证实了设计.该物镜—工作台系统特别适用于半导体等领域的电子显微镜研究.
In this paper, the coordinated design of STEM / CTEM objective lens and sample table to adapt to a variety of research functions, the optoelectronic properties of the partially-saturated magnetic lens condenser lens, the high-resolution working characteristics and computer-aided design method are studied. An objective capable of simultaneous application of a top insert and a side-mounted sample stage, the objective has a high theoretical resolution and can be easily and conveniently converted between the CTEM and STEM operating modes. The measurement and use of the objective confirmed the design. The objective-table system is particularly suitable for electron microscopy studies in the semiconductor and other fields.
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