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图形化SMA薄膜的图案及其结构参数的选择对SMA/Si复合驱动膜的性能有决定性的影响,利用有限元方法对两种图案设计进行了对比分析.通过结构分析和温度场分析,圆形电阻条变宽的设计有助于进一步提高驱动膜的性能.仿真结果对于优化驱动膜的设计具有指导意义.
SMA／Si复合膜微驱动器图案优化设计
【摘 要】
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图形化SMA薄膜的图案及其结构参数的选择对SMA/Si复合驱动膜的性能有决定性的影响,利用有限元方法对两种图案设计进行了对比分析.通过结构分析和温度场分析,圆形电阻条变宽的
【机 构】
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上海交通大学微纳米科学技术研究院信息存储研究中心
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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2001年3期
【基金项目】
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高等学校博士学科点专项科研项目
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