一种用于碲镉汞液相外延薄膜材料生长的带有母液清除装置的石墨舟

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目前,碲镉汞液相外延薄膜材料生长过程中所用的石墨舟是由底座、底板和滑块构成的。其底板上开有一个和衬底一样大小用来放置衬底的孔道,滑块上也开有一个用于放置母液的孔道。通过移动滑块或者底板使母液与衬底相接触,便可在衬底上外延生长一层薄膜材料。由于碲的表面张力较小,在500℃时约为 At present, the graphite boat used in the growth of HgCdTe liquid phase epitaxial thin film is composed of a base, a base plate and a slider. The bottom plate is provided with a hole of the same size as the substrate for placing the substrate, and a hole for placing the mother liquid is also opened on the slider. By moving the slider or the base plate so that the mother liquor is in contact with the substrate, a layer of film material can be epitaxially grown on the substrate. Due to the smaller surface tension of tellurium, at about 500 ℃
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