【摘 要】
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当前,薄膜电容式真空计使用十分广泛,这是由于它具有相当稳定的特性,能进行压力的准确定量测量,它的灵敏度对任何气体都不变,能在腐蚀性介质中工作等等。薄膜电容式真空计是
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当前,薄膜电容式真空计使用十分广泛,这是由于它具有相当稳定的特性,能进行压力的准确定量测量,它的灵敏度对任何气体都不变,能在腐蚀性介质中工作等等。薄膜电容式真空计是由电测单元和变形变换器组成的组合装置。变换器的灵敏元件是一
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