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精密测量技术是精密工程领域的一项重要研究内容.本文利用微动平台,二次开发控制软件,进行精密控制.为了克服回程误差,选择精度更高的光栅尺进行测量,整个测量系统组成伺服反馈系统,测量软件上进行闭环,一键设定到位,精度能达到0.2μm,适合于各种单自由度或多自由度小载荷精密移动领域.
一种精密测量显示控制系统的设计
【摘 要】
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精密测量技术是精密工程领域的一项重要研究内容.本文利用微动平台,二次开发控制软件,进行精密控制.为了克服回程误差,选择精度更高的光栅尺进行测量,整个测量系统组成伺服反
【机 构】
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四川科技职工大学,四川成都,610101清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084;
【出 处】
：
木材加工机械
【发表日期】
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2004年期
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