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【摘 要】
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一、引言 为满足生产和科学研究而发展起来的清洁真空技术,已有十余年历史了。目前,总的说来与此有关的“清洁”真空泵、阀、密封技术等都达到了相当的水平,可基本满足使用需
【机 构】
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兰州物理研究所
【出 处】
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真空
【发表日期】
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2004年期
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