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基于ASPENPLUS软件平台,对氟硅酸钾与硫酸反应制取无水氟化氢的工艺进行了模拟分析,根据氟硅酸钾与硫酸的反应条件及反应后混合气的分离条件,采用ELECNRTL物性方法及NRTL物性方法,确定出当反应条件选取0.1MPa、200℃时,氟硅酸钾的转化率达到98.60%。在模拟过程中考察了精馏塔塔板数、进料位置和回流比等参数对无水氟化氢产品质量的影响,经过分析得出最优的分离条件为:四氟化硅与氟化氢混合气体预热至100℃,进入塔板数为6及回流比为3的精馏塔进行分离,可得到质量分数为99.74%的无水氟化氢,其回收率可达92.22%。