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环境扫描电镜可通讯高温样品台的设计与应用

来源 :分析仪器 | 被引量 : 0次 | 上传用户：happytower

【摘 要】

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介绍了环境扫描电镜可通讯高温样品台的设计与制作.所开发的高温样品台体积小,可加热温度较高,升降温速率的可调范围大.由计算机与可编程控制仪表组成的控制系统具有指令功能

【作 者】

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姚琲 李春艳 刘平 杜海燕 杨梅 

【机 构】

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天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津大学材料学院

【出 处】

：

分析仪器

【发表日期】

：

2003年3期

【关键词】

：

SEM 环境扫描电镜 可通讯 高温样品台 设计 控制系统 

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介绍了环境扫描电镜可通讯高温样品台的设计与制作.所开发的高温样品台体积小,可加热温度较高,升降温速率的可调范围大.由计算机与可编程控制仪表组成的控制系统具有指令功能强大,操作灵活,可以通讯等特点.本系统在实际应用中具有良好的效果.

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