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控制CVD工艺条件得到球状热解炭, 通过对沉积中间体的定性分析,证实了此过程中存在'缩聚机理'. 运用热力学和晶体成核-长大理论,解释了温度对热解炭形貌和沉积过程的影响.
n-C7H16／CCl4体系CVD-热解炭的形貌与形成机理
【摘 要】
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控制CVD工艺条件得到球状热解炭, 通过对沉积中间体的定性分析,证实了此过程中存在'缩聚机理'. 运用热力学和晶体成核-长大理论,解释了温度对热解炭形貌和沉积过程的
【机 构】
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东华大学材料科学与工程学院,东华大学纤维材料改性国家重点实验室
【出 处】
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材料工程
【发表日期】
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2004年7期
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