【摘 要】
：
根据圆平动化学机械研抛(Circular-translational-moving Chemical Mechanical Polishing,CTM-CMP)的运动关系,建立了极坐标下非稳态流体膜厚方程和非稳态下牛顿流体在CTM-CM
论文部分内容阅读
根据圆平动化学机械研抛(Circular-translational-moving Chemical Mechanical Polishing,CTM-CMP)的运动关系,建立了极坐标下非稳态流体膜厚方程和非稳态下牛顿流体在CTM-CMP过程中的润滑方程.利用有限差分法数值求解获得了瞬时工件与研抛盘间的压力分布和膜厚分布,分析了压力积分载荷、倾覆力矩与研抛速率及姿态角的变化关系.结果表明CTM-CMP过程易于形成负压,有利于提高研磨效率.随着研抛速率的增加,承载能力和倾覆力矩线性增加;随着倾角的增加,承载能力和倾覆力矩非线性增大.分析结果有助于指导CTM-CMP的应用.
其他文献
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
以糖蜜废水为底物，利用连续流搅拌槽式反应器CSTR作为反应装置，对糖蜜废水厌氧发酵生物制氢进行了实验。结果显示，在实验条件下，反应器具有持续产氢能力，反应器运行稳定后氢气含量
“西战团”的工作分为两个时期,初创时期由丁玲负责,以流动演出的方式在山西前线和西安做文艺宣传、写战地通讯,组织街头宣传活动。发展时期由周巍峙负责,主要是在敌后抗日根
广州集装箱码头由广州港务局和新加坡PSA集团公司 (拥有 4 9%股份 )共同所有 ,设有 6个集装箱泊位 ,设计集装箱吞吐量为 14 0万TEU。 2 0 0 2年集装箱吞吐量突破 10 0万TEU。
针对工作在高温、高速、重载等极限工况条件下的航空发动机用滚动轴承的运转状态的特殊性,介绍了一种应用多传感器进行测量的轴承监测及性能考核系统.并对该种工况下工作轴承
分别用弛放气和CO2以及纯CH4和CO2作气源,研究了TiO2的加入对传统Ni系转化催化剂性能的影响.
研究了W含量对TiAl基合金显微组织和力学性能的影响。结果表明:随W含量的增加,B2相及等轴γ相的尺寸和数量呈逐渐增加的趋势;晶团尺寸和片层间距随W含量的增加呈抛物线变化趋