【摘 要】
：
为提高图形化干涉光刻质量,提出了基于闪耀光栅的图形化干涉光刻（PIIL）系统,并对该系统所采用的光学原理和实现方法进行了研究。首先,分析了图形化干涉光刻系统的光场特性,阐述
论文部分内容阅读
为提高图形化干涉光刻质量,提出了基于闪耀光栅的图形化干涉光刻（PIIL）系统,并对该系统所采用的光学原理和实现方法进行了研究。首先,分析了图形化干涉光刻系统的光场特性,阐述了其分辨率提升的原理。讨论了光学系统带宽和图案分布对光刻图形质量的影响,给出了图形质量控制的工艺方法。其次,提出了一种新型的图形化干涉光刻方法,该方法采用闪耀光栅作为衍射分光器件,实现了位相和振幅的一体化调制。采用数值计算方法模拟了闪耀光栅的衍射特性和像面光场分布,讨论了闪耀光栅的优化设计方法,获得了高达92.3%的±1级衍射
其他文献
目的:探讨对重症病毒性脑炎合并心肌炎患儿进行程序化护理的临床效果。方法:将近年来安徽医科大学第二附属医院收治的72例重症病毒性脑炎合并心肌炎患儿按照护理方法的不同分
目的:探讨并分析用创面边缘注药法联合长强穴注药法对接受手术治疗后的混合痔患者进行镇痛的效果。方法:将2019年1月至6月期间在保定市第一中医院进行手术治疗的70例混合痔患
"秦派二胡"在二胡艺术中具有广泛的影响,极富地方色彩和艺术魅力。它植根于地域音乐文化,体现民风、民情。"秦派二胡"的发展,需要加强"秦派二胡"的理论研究,繁荣秦风秦韵的二
目的:观察用超脉冲CO2点阵激光疗法联合表皮生长因子凝胶治疗痤疮瘢痕的临床效果。方法:选取德宏州人民医院2017年2月至2018年3月收治的痤疮瘢痕患者84例作为研究对象。随机
目的:探讨并分析对接受腹腔镜下胃癌根治术的胃癌患者采用综合保暖法预防其术中发生低体温的效果。方法:将近年来在巴马县人民医院进行腹腔镜下胃癌根治术的42例胃癌患者按照
今年11月16日，江门三区四市的人大代表、政协委员、检察院、法院、司法局（所）等社会各界人士以及部分服刑人员家属，走进江门监狱执法现场，参加监狱开放日活动暨2017年执法情况通报
随着我国经济缓慢复苏,各类基金尤其是并购基金极大地丰富了公司并购重组的模式,成为推动我国经济发展、产业整合及产业升级的重要资本运作方式。在我国经济体制改革不断深化
南瓜花叶病毒(Squash mosaic virus,SqMV)是葫芦科作物上一种重要的种传病毒。本研究根据其外壳蛋白(CP)基因设计一对特异引物,建立了SqMV的RT-PCR和IC-RT-PCR检测方法。特异
针对微生物检测中存在的耗时多、结构复杂、探测精度低等问题,提出了一种快速、简单、检测下限低的微生物检测方法。通过结合荧光标记物标记、微孔滤膜过滤、激光扫描及荧光