【摘 要】
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为提高生产效率,降低人工劳动强度,在对比砂轮划片和金刚刀划片2种工艺方法优缺点的基础上,采用晶圆贴膜金刚刀划片的工艺方法,通过控制划片工艺过程各工艺参数,实现铌酸锂单
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为提高生产效率,降低人工劳动强度,在对比砂轮划片和金刚刀划片2种工艺方法优缺点的基础上,采用晶圆贴膜金刚刀划片的工艺方法,通过控制划片工艺过程各工艺参数,实现铌酸锂单晶的划片.该方法不但改善了划片的质量,而且提高了划片成品率.经批量生产实践证明,晶圆贴膜金刚刀划片工艺是可行的;对生产企业而言,可以在不购买其他设备的基础上,提高生产效率和划片成品率.
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