【摘 要】
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超精密机床的性能,取决于关键部件的质量。本文对超精密机床关键部件液体静压导轨及其驱动系统的研究进行了叙述。
The performance of ultra-precision machine tools depe
【机 构】
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中国航空精密机械研究所,中国航空精密机械研究所 北京100076,北京100076
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超精密机床的性能,取决于关键部件的质量。本文对超精密机床关键部件液体静压导轨及其驱动系统的研究进行了叙述。
The performance of ultra-precision machine tools depends on the quality of the key components. In this paper, the key components of ultra-precision machine tool hydrostatic guide rail and its drive system are described.
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