【摘 要】
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本文介绍了HL2HLHLHL2HLH胰系干涉滤光片的镀制工艺。讨论了影响较大的几个因素,对镀制过程中出现的一些现象进行了初步分析,总结出最佳工艺条件。一、前言随着光学技术在半
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本文介绍了HL2HLHLHL2HLH胰系干涉滤光片的镀制工艺。讨论了影响较大的几个因素,对镀制过程中出现的一些现象进行了初步分析,总结出最佳工艺条件。一、前言随着光学技术在半导体工艺设备中的应用日益广泛,滤光片亦成为半导体设备必不可少的光学元件。目前在光学薄膜技术中,滤光片的膜系设计和镀制是比较困难的。其中最常见的一种是按法布里——珀罗干涉仪原理工作的
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