【摘 要】
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十月二十三日上午,美国加州大学研究中心总裁及史密斯教授一行三人在湖南省科学技术委员会有关同志陪同下对电子工业部第四十八研究所进行了参观访问。客人们参观了该所研制
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十月二十三日上午,美国加州大学研究中心总裁及史密斯教授一行三人在湖南省科学技术委员会有关同志陪同下对电子工业部第四十八研究所进行了参观访问。客人们参观了该所研制的电子束曝光机、中束流微机控制离子注入机等半导体工艺设备。客人们对这些设备水平表示了赞赏并留下了深刻的印象。
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