【摘 要】
：
本文利用PECVD低温淀积台进行TiSi_2薄膜的制备。采用X射线衍射、俄歇分析和扫描电镜等分析手段,对所制备的TiSi_2薄膜及其氧化特性、多层膜结构和刻蚀特性进行了全面的测试
【机 构】
：
西安电子科技大学微电子研究所,西安电子科技大学微电子研究所,西安电子科技大学微电子研究所,
论文部分内容阅读
本文利用PECVD低温淀积台进行TiSi_2薄膜的制备。采用X射线衍射、俄歇分析和扫描电镜等分析手段,对所制备的TiSi_2薄膜及其氧化特性、多层膜结构和刻蚀特性进行了全面的测试分析,证明采用PECVD方法制备TiSi_2薄膜的工艺是完全可行的。
In this paper, the PECVD deposition platform for TiSi_2 thin film preparation. X-ray diffraction, Auger analysis and scanning electron microscopy and other analytical means, the prepared TiSi_2 film and its oxidation characteristics, multilayer film structure and etching characteristics of a comprehensive test analysis to prove that the use of PECVD TiSi_2 film preparation process Is entirely feasible.
其他文献
Diisopropyl genistein-7-yl phosphate (C21H23O8P, Mr = 434.11) has been synthesized by a facile phosphorylated reaction with genistein and diisopropyl phosphite,
所谓祖师爷,就是学术流派、宗教派别以及各行各业的创始人。《周礼·考工记》云:“知得创物,巧者述之守之、世谓之工。百工之事,皆圣人作也。”即所谓“天下百工圣人作”。各
年过七旬,渐渐老去之后,我才领悟到,喜欢唠叨忆旧固然是一般老人的通病,但又何尝不可说是老人的优势与权利呢。近日我在翻检旧时信函时,除了翻检出不少已经逝去多年的著名作
在各种数字系统和自控系统中,T341的功能扩展问题是常常遇到的,但目前尚没有简便的方法,这给设计者带来了一定的困难。特别是扩展成大范围的优先编码器时问题更加突出。本文
浙江省天台林场于1957年春季在华顶、大同二个分区进行金钱松1.03亩的高山育苗试验。在圃留床一年。于58年9月中旬及10月份两次调查结果,每亩(条播)产苗量达295,000株,苗木
农桐间作和枣粮、栗粮间作一样,是合理利用土地、增产致富的一个好办法,省外已有很多成功经验。为进一步探讨我省农桐间作问题,本期刊登二篇有关农桐间作及泡桐生长调查的文
利用取自10个林分的501株树木的数据,建立了单株立木的干材、树干皮、总的树干、1年生针叶、全部针叶、活枝和树枝总和的干重的估计方程。林分树干的重量与林分断面积和平均
在历时四天的“千课万人”小学数学研讨观摩会上,我们有幸赏名师风采,听百家箴言,可谓感触良多,收获颇丰。一、开门见山创设情境,在现在的数学课堂已泛滥成灾。本次研讨观摩
全文综述国内外有关肺癌合并肺部感染西医的病原、病因、临床特点、治疗措施及中医的病因病机、辨证治疗,提出了中医治疗的优势及存在的问题。