【摘 要】
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工 作 报 告 题 目 猢 页一种降低氧化物表面态电荷密度的新方法——C。HCla氧化技术……··。……一(二)砷化稼器件制作中的新腐蚀液……………………………;………………
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工 作 报 告 题 目 猢 页一种降低氧化物表面态电荷密度的新方法——C。HCla氧化技术……··。……一(二)砷化稼器件制作中的新腐蚀液……………………………;……………………··一(14)一种新型的掩模——离子注入掩模………………………………………………二(1)X62负集成稳
Job Report Title 新 Page A New Method to Decrease the Surface Charge Density of Oxides - C. HCla oxidation ... ... ... ... (a) a new etching solution in the manufacture of arsenic-based devices Ion Implantation Mask ...................................................... II (1) X62 Negatively Integrated Stable
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