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微细电火花加工中电极损耗较大，在加工大深径比微细孔时，工具电极和工件之间的狭窄间隙内流体阻力较大，气泡及加工屑不易排出，易产生频繁的非正常放电，导致电极损耗进一步增大。针对大深径比微细孔加工的这一难题，提出采用电极摇动同时在工件上加载超声波振动的新方法，成功地在3．5mm厚的不锈钢板上加工出平均直径为120μm的通孔，深径比达29。