脉冲激光沉积类金刚石薄膜涂层研究

来源 :金刚石与磨料磨具工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:rights_2005
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利用YAG脉冲激光器的355nm和532nm波长制各类金刚石薄膜,采用电极放电法来激发激光等离子体出射簇,发现可较好地提高薄膜的红外透过率;薄膜的红外吸收谱中没有c—H吸收带,具有较好的金刚石特性;薄膜可作为红外光学元件和有机小型机械的耐磨涂层。 Using the YAG pulsed laser wavelength of 355nm and 532nm wavelength of various types of diamond films, the electrode discharge method to excite the laser plasma emission cluster, found that the film can improve the infrared transmittance; film infrared absorption spectrum c-H Absorption band, with better diamond properties; film can be used as infrared optical components and organic small mechanical wear-resistant coating.
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