【摘 要】
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本文从工业化生产的观点,对各种光刻技术进行ULSI规模生产的能力及问题给以简要比较说明,提出发展光学光刻技术作为下一代0.35μm和0.25μmULSI工业化生产的主导光刻技术,是
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本文从工业化生产的观点,对各种光刻技术进行ULSI规模生产的能力及问题给以简要比较说明,提出发展光学光刻技术作为下一代0.35μm和0.25μmULSI工业化生产的主导光刻技术,是光刻技术本身发展和半导体工业发展的必然。
This article from the industrial production point of view, a variety of lithography ULSI-scale production capacity and problems to give a brief comparison shows that the development of optical lithography technology as the next generation 0.35μm and 0.25μmULSI industrial production of the dominant lithography technology is Lithography technology itself and the development of the semiconductor industry is inevitable.
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根据中共中央关于制定“十一五”规划的建议，要实现单位国内生产总值耗能比“十五”期末降低20%左右的目标，意味着中国的发展模式、能源战略要实现根本性转变。从外贸的数量与金额看，中国已经成为贸易大国，但还不是贸易强国。在外贸发展中不仅要关注量的增长，而且必须更加重视质的提高。当前，加快转变外贸增长方式可以说是外有压力内有动力。 转变中国外贸增长方式迫在眉睫 “十一五”期间对外贸易发展既面临
7月25日,艳阳下的黄浦江中心,随着昆阳路越江大桥主桥首根1.5 m直径钢管桩顺利施打完毕,标志着黄浦江上的又一座特大桥——昆阳路越江大桥正式进入主桥施工阶段。昆阳路越江
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