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介绍了一种基于激光多普勒位移测量技术的机床几何误差测量辨识新方法,即激光矢量分步对角线测量法。该方法和传统的体对角线测量技术相比较,该方法能够取得3倍的数据,可以方便而快速地检测出机床的体积定位精度,并且能够获得足够的信息用于分离各误差元素,进而可以对其进行体积定位误差的补偿,大幅度提高了数控机床加工精度。