【摘 要】
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本文介绍自制的采用微机控制测量离子注入均匀性的自动测试系统,说明了测量及数据处理方法,并给出测试结果。
This paper introduces a self-made automatic test system fo
【机 构】
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北京师范大学低能核物理研究所,北京师范大学低能核物理研究所,
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本文介绍自制的采用微机控制测量离子注入均匀性的自动测试系统,说明了测量及数据处理方法,并给出测试结果。
This paper introduces a self-made automatic test system for measuring the uniformity of ion implantation using microcomputer control. The measurement and data processing methods are described and the test results are given.
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