【摘 要】
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ＦａｂｒｉｃａｔｉｏｎｏｆＳｉｌｉｃｏｎＭｉｃｒｏｌｅｎｓＡｒｒａｙｓＵｓｉｎｇＩｏｎＢｅａｍＭｉｌｌｉｎｇ￥ＭＡＩＺｈｉｈｏｎｇ；ＹＩＸｉｎｇｊｉａｎ；ＺＨＡＯＸｉｎｒｏｎｇ（ＨｕａｚｈｏｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｒＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏ...
Fabrication of Silicon Micro arrays Arrays Ion Beam Milling ¥ MAIZhihong; YIXingjian; ZHAOXinrong (Huazhong University of Sci
【出 处】
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Semiconductor Photonics and Technology
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ＦａｂｒｉｃａｔｉｏｎｏｆＳｉｌｉｃｏｎＭｉｃｒｏｌｅｎｓＡｒｒａｙｓＵｓｉｎｇＩｏｎＢｅａｍＭｉｌｌｉｎｇ￥ＭＡＩＺｈｉｈｏｎｇ；ＹＩＸｉｎｇｊｉａｎ；ＺＨＡＯＸｉｎｒｏｎｇ（ＨｕａｚｈｏｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｒＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏ...
Fabrication of Silicon Micro arrays Arrays Ion Beam Milling ¥ MAIZhihong; YIXingjian; ZHAOXinrong (Huazhong University of Science and Technology ...
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