【摘 要】
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本文用DCD法测量了注入能量为180Kev,不同剂量,不同退火温度的N+2/As+组合注入Si样片.用XRD动力学理论和最小二乘法拟合实验曲线,得到组合注入层的辐射损伤度,并讨论了损伤层
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本文用DCD法测量了注入能量为180Kev,不同剂量,不同退火温度的N+2/As+组合注入Si样片.用XRD动力学理论和最小二乘法拟合实验曲线,得到组合注入层的辐射损伤度,并讨论了损伤层在不同退火温度下的恢复情况.结果表明:剂量为5×1015ion/cm2时,注入层的衍射曲线出现双峰,次峰在主峰左侧,说明晶格膨胀且有非晶层形成.退火温度达900℃时,衍射线为单峰,说明这个退火温度使层结构恢复为连续结构,且组合注入的辐射损伤在相同剂量下是单束注入的三倍多.
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