【摘 要】
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为了蚀刻掺杂的硅酸盐玻璃层,已经发现气体等离子体腐蚀是有效的。与通常的湿法化学工艺相比,气体等离子体工艺腐蚀特性与淀积温度的关系较小,而与掺杂剂浓度关系较大。用掺
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为了蚀刻掺杂的硅酸盐玻璃层,已经发现气体等离子体腐蚀是有效的。与通常的湿法化学工艺相比,气体等离子体工艺腐蚀特性与淀积温度的关系较小,而与掺杂剂浓度关系较大。用掺杂剂—氟化合物的挥发性可以解释这些结果。
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