【摘 要】
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本文提出了一种简易、低成本的钨丝微电极阵列制作工艺和方法。该方法采用MEMS工艺制作的玻璃模具实现钨丝阵列的精密有序排列，同时，在钨丝电极表面涂覆一层光敏性的聚酰亚胺作
【机 构】
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所,中国科学院研究生院,上海交通大学激光与生物医学研究所
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本文提出了一种简易、低成本的钨丝微电极阵列制作工艺和方法。该方法采用MEMS工艺制作的玻璃模具实现钨丝阵列的精密有序排列，同时，在钨丝电极表面涂覆一层光敏性的聚酰亚胺作为绝缘层，结合“双面光刻”技术和电化学腐蚀技术实现电极位点大小和电极丝几何尺寸的精确控制。最后，通过注模、光刻制作SU-8固定座体完成钨丝微电极阵列的组装固定。整个制作工艺简单快速，且玻璃模具可重复使用，大大降低了制作成本。此外，本文还测试和评价了所制作微电极的表面形貌、电学性能以及生物相容性。
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