LC—3型高能离子注入机使用情况介绍

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我所在81年购进一台LC—3型高能离子注入机,这是电子工业部48所于78年研制成功的国内第一台高能注入机。至今三年多时间里,机器运转正常,除某些电器元件因自然老化而进行更换外,没有因为机器出现大的故障而中止过工作,各项指标仍保持原设计水平。 In 1981, I purchased an LC-3 high-energy ion implanter, which is the first high-energy implanter in China to be developed in 78 years by the Ministry of Electronics Industry. For more than three years now, the machine has been operating normally. Apart from some electrical components being replaced due to natural aging, no work was suspended due to a major breakdown of the machine. All indicators remained at the original design level.
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