【摘 要】
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介绍一种可对大尺寸工件进行无导轨精密检测的方法及装置。该装置的工作方法类似一精密测距仪。它采用了一稳频双纵模激光作为光源,其拍频频率在600MHz~1GHz之间,拍频波长为500~300mm,稳定度为1×107~10-8。该
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介绍一种可对大尺寸工件进行无导轨精密检测的方法及装置。该装置的工作方法类似一精密测距仪。它采用了一稳频双纵模激光作为光源,其拍频频率在600MHz~1GHz之间,拍频波长为500~300mm,稳定度为1×107~10-8。该系统确定整数倍拍频波长节点的精度为0.05mm,测量两节点间距离的分辨率为0.0001mm。其测量范围一般为0~20m,根据需要测量范围可增至40m。
A method and a device for precision testing of large size workpieces without guide rail are introduced. The device works like a precision range finder. It uses a frequency stabilized dual longitudinal mode laser as the light source, the beat frequency of 600MHz ~ 1GHz, beat frequency of 500 ~ 300mm, stability of 1 × 107 ~ 10-8. The system determines the accuracy of the integer times beat wavelength node is 0.05mm, the resolution of the distance between two nodes is 0.0001mm. The measurement range is generally 0 ~ 20m, according to the needs of the measurement range can be increased to 40m.
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