Al-glass-Al阳极键合界面及力学性能的分析

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利用两步法阳极键合技术成功实现了Al-glass-Al的连接,利用扫描电镜(SEM)观察Al-glass界面形貌,利用辉光放电发射光谱仪(GD-OES)分析界面元素(K,Na,O,Al)分布规律,利用原子力显微镜(AFM)分析键合前后玻璃的表面形貌,采用万能材料试验机测试了不同工艺参数下试样的力学性能.结果表明,第二次键合界面电流值明显高于第一次键合界面电流值;Al-glass-Al界面结合良好,玻璃两侧界面无明显差异;Al3+有向Na+耗尽层中扩散的趋势,先形成的耗尽层中Na+浓度明显高于后形成的耗尽层
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