3L_2-220 型溅射离子泵研制

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【摘要】

：

本文谈及３Ｌ２－２２０型溅射离子泵结构的确定和参数的选择，并给出测试结果。 This article deals with the determination of 3L2-220 sputtering ion pump structure and the choice of

【作者】

：

李金凤

【机构】

：

辽宁省轻工设计院

【出处】

：

真空

【发表日期】

：

1999年01期

【关键词】

：

溅射离子泵阳极电压极限压力流导单元组正负电子对撞机双端已知数据总体结构抽气速率

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本文谈及３Ｌ２－２２０型溅射离子泵结构的确定和参数的选择，并给出测试结果。 This article deals with the determination of 3L2-220 sputtering ion pump structure and the choice of parameters, and gives the test results.

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