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以多晶硅碳头料为原料,在距离碳头50cm范围内不同位置处分别套取多晶样棒后拉制单晶棒,对单晶棒的常温红外替位碳含量进行研究。考察距离碳头不同位置的多晶硅碳含量受到碳头的影响。
多晶硅碳头料碳含量的分布研究
【摘 要】
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以多晶硅碳头料为原料,在距离碳头50cm范围内不同位置处分别套取多晶样棒后拉制单晶棒,对单晶棒的常温红外替位碳含量进行研究。考察距离碳头不同位置的多晶硅碳含量受到碳头
【机 构】
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新疆新特新能材料检测中心有限公司;
【出 处】
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城市建设理论研究(电子版)
【发表日期】
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2004年期
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