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采用直流磁控溅射的方法，在玻璃衬底上沉积了Zn0.94Mn0.07O薄膜，研究了氧分压对．93Mn0.07O薄膜结构及吸收性能的影响。x射线光电子能谱（XPS）测试结果表明，Mn^2＋取代了ZnO中的大部分Zn^2＋，但还掺杂有少量的MnO2分子。X射线衍射测试（XRD）结果显示，Zn0.93Mn0.07O薄膜都具有高度的C轴择优取向，在氧分压为0．4时，薄膜具有最小的半高宽及最大的晶粒尺寸。由于伯斯坦．莫斯效应，Zn0.93Mn0.07O薄膜光吸收跃迁过程只能在价带态和费米能级附近及以上的导带空态之间发