【摘 要】
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随着IC复杂度的提升、工艺技术日益精密,而Mask成本与作业完成时间也随之增加,已经成为IC设计公司一项难以承受的成本开支。由于图形描绘机可以较低的成本支持所有的Mask制程
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随着IC复杂度的提升、工艺技术日益精密,而Mask成本与作业完成时间也随之增加,已经成为IC设计公司一项难以承受的成本开支。由于图形描绘机可以较低的成本支持所有的Mask制程技术,同时比目前采用电子束技术Mask制造的e-b e a m系统快速、低成本,因此对Fabless公司降低流片成本
As IC complexity increases, process technology becomes more sophisticated, and Mask costs and job completion times have also increased, making IC design an unaffordable cost expense. Because graphics delineators support all Mask processing technologies at a lower cost and are faster and less expensive than the e-ribbons currently manufactured using Electron Beam technology, Fabless reduces the cost of tapes
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