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概述了微机电系统(MEMS)的定义和特征,从理论基础、技术基础和工程应用三方面,阐述了微机电系统的研究内容,简要介绍了MEMS基础技术及MEMS器件的研究现状.
微机电系统的研究内容与发展现状
【摘 要】
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概述了微机电系统(MEMS)的定义和特征,从理论基础、技术基础和工程应用三方面,阐述了微机电系统的研究内容,简要介绍了MEMS基础技术及MEMS器件的研究现状.
【机 构】
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宁波大学机械工程系,浙江大学机械与能源工程学院生产工程研究所
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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2001年6期
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