【摘 要】
：
由外冷式吸附泵作为前级泵、溅射离子泵作为主抽真空泵构成无油超高真空系统,采用计算机控制技术,以真空度为工艺进程判据,对器件进行烘烤排气,实现电真空器件的真空排气工艺
【机 构】
：
中国工程物理研究院,北京利方达真空技术有限责任公司
论文部分内容阅读
由外冷式吸附泵作为前级泵、溅射离子泵作为主抽真空泵构成无油超高真空系统,采用计算机控制技术,以真空度为工艺进程判据,对器件进行烘烤排气,实现电真空器件的真空排气工艺的自动控制。介绍了无油超高真空系统、控制系统、烘箱与热功率以及软件的设计。排气台为多工位结构,具有气体质谱分析和充气功能;空载时极限真空度优于8×10-7Pa;烘箱烘烤温度为25～600℃,连续可调,恒温精度优于±1%;分析质量数为1～80。程控排气台设计合理,操作简便,计算机控制技术精细了工艺过程控制量,排除了人为因素,其性能稳定可靠,可满足使用要求。
其他文献
<正>【本刊讯】4月11日,黑龙江省金融学会组织召开2017年秘书长工作会议。会议传达了2016年度中国金融学会年会精神,总结了去年省金融学会工作,表彰了2016年度学会重点课题获
本文简要回顾间歇导尿的历史,着重阐述用于间歇导尿的导尿管种类、型号及其特点,特别是近年来为了减轻患者插管时的不适,减少尿路感染等并发症的发生,导尿管在材料和结构设计
1954年,德鲁克在《管理实践》中首次提出目标管理的概念,并且建构了目标管理体系。德鲁克在他的目标管理体系中对目标制定、目标实施和成果检测进行了详细的论述。德鲁克的目
目的探讨焦虑情绪对老年慢性心力衰竭患者左心功能的影响。方法选择慢性心力衰竭伴焦虑情绪患者111例(焦虑组)和慢性心力衰竭不伴焦虑情绪患者95例(非焦虑组)作为研究对象。
<正>自物流业引入吉林省,它的发展在区域间呈现出不平衡的态势,且有不断扩大的趋势,同时产业集聚程度不断提高。长吉图开发开放先导区是国务院作为国家发展战略于2009年8月30
在当今这个科技高速发展的时代,不论是工业还是生活中无处不见自动控制的影子,随着对高级控制的需求,将微电子技术应用到自动化控制领域越来越受到人们的关注。微电子技术不
城市下水道硫化氢造成的危害日益严重，常见的硫化氢治理药剂包括氧气、过氧化氢、次氯酸钠、三氯化铁和硫化亚铁等，但治理成本较高。近年来通过化学和生物处理方法治理硫化氢的
蒸发光散射检测器在中药成分分析中起到的作用越来越重要,本文通过参考ELSD近年来的研究和资料,对蒸发光散射检测器在中药成分分析中的应用进行综述。
当前,甘肃省突发环境事件高发频发态势仍未彻底改变,环境应急管理面临严峻挑战。要有效降低突发环境事件发生数量和事件危害,围绕突发环境事件预防、预测、指挥、协调、处置
工业化与城市化偏差是各地区经济发展普遍存在的现象,资源型地区的工业化与城镇化偏差尤为严重。通过对新常态下山西省工业化与城镇化总体变动态势进行分析,并与2011年进行对