【摘 要】
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提出了利用飞秒激光的多次聚焦现象进行微光学器件并行加工的方法。通过实验总结了光强和聚焦深度对该方法的影响规律，并实现了用该方法并行加工多个微光波导。对多个微光波导
【机 构】
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中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,南开大学现代光学所光电信息技术科学教育部重点实验室
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提出了利用飞秒激光的多次聚焦现象进行微光学器件并行加工的方法。通过实验总结了光强和聚焦深度对该方法的影响规律，并实现了用该方法并行加工多个微光波导。对多个微光波导的间距实现了控制，其间距范围为2～5μm。将并行加工出的光波导与单个焦点加工出的光波导做了对比，并行加工出的光波导形貌上比较接近单个焦点加工出的光波导，但其传输性能还有一定的差距。用超强光引起的自聚焦对这种多次聚焦做了理论解释，并且针对光强和聚焦深度对多次聚焦的影响做了进一步的理论分析。结果表明，这种方法相对以往的并行加工，实现简单，对加工结果的
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