【摘 要】
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本文给出一个新的PIN光电二极管的等效电路模型，该模型基于速率方程和微波端口特性并在TMS（TsinghuaMicrowaveSpice）中完成，可以进行线性、非线性信号分析和噪声分析。利用该模型
【机 构】
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清华大学!北京，100084,清华大学!北京，100084,河北半导体研究所!石家庄，050051
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本文给出一个新的PIN光电二极管的等效电路模型，该模型基于速率方程和微波端口特性并在TMS（TsinghuaMicrowaveSpice）中完成，可以进行线性、非线性信号分析和噪声分析。利用该模型对其非线性谐波特性进行了预测，模拟结果表明和文献数值求解结果基本一致，最后讨论了适用于金属－半导体－金属（MSM）光电二极管的修正模型．
In this paper, a new equivalent circuit model of PIN photodiode is presented. The model is based on the rate equation and microwave port characteristics and is implemented in TMS (TsinghuaMicrowavespice). It can perform linear and nonlinear signal analysis and noise analysis. The model is used to predict the nonlinear harmonic characteristics. The simulation results show that the proposed method is basically consistent with the literature numerical solution. Finally, the modified model suitable for metal - semiconductor - metal (MSM) photodiode is discussed.
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