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在电子制造及其它一些高新技术行业，对设备的洁净度要求都非常高：以多晶硅提纯装置的清洁工程为实例，阐述了高洁净度设备清洗系统的工艺流程与操作方法。
清洗高洁净度设备工程技术——以多晶硅工艺设备清洁为例
【摘 要】
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在电子制造及其它一些高新技术行业，对设备的洁净度要求都非常高：以多晶硅提纯装置的清洁工程为实例，阐述了高洁净度设备清洗系统的工艺流程与操作方法。
【机 构】
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南京市住建委,中建工业设备安装公司
【出 处】
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工程质量
【发表日期】
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2011年9期
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