【摘 要】
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本文利用深能级瞬态谱DLTS技术,对器件的失效批理作了分析探讨。指出用DLTS技术,不必将失效器件启封,就可以区别是属于体内失效还是表面失效,对于由深能级杂质影响电参数的器
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本文利用深能级瞬态谱DLTS技术,对器件的失效批理作了分析探讨。指出用DLTS技术,不必将失效器件启封,就可以区别是属于体内失效还是表面失效,对于由深能级杂质影响电参数的器件,可以有效地进行失效机理分析。
In this paper, the DLTS technology of deep level transient spectrum is used to analyze the failure of devices. It is pointed out that with DLTS technology, it is not necessary to unseal the failed device, so it is possible to distinguish whether it belongs to in-vivo or out-of-surface failure, and to effectively analyze the failure mechanism of devices affected by deep-level impurities.
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