超导薄膜的生产

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在衬底上涂超导体薄膜的生产方法是将脉冲激光束辐射到靶上,然后把它沉积在衬底表面而形成超导体膜。 本专利改进部分是当把靶中含Nd、Ba、Cu总量确定为100%时,而Nd=10~30at%、Ba=20~40at%、Cu=40~60at%。 A method of producing a superconductor thin film on a substrate is to irradiate a pulsed laser beam onto a target and then deposit it on the surface of the substrate to form a superconductor film. The improvement part of the patent is that Nd = 10-30at%, Ba = 20-40at% and Cu = 40-60at% when the total content of Nd, Ba and Cu in the target is 100%.
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