【摘 要】
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提出了用能量为１．５－２．５ＭｅＶ的质子弹性背散射分析（ｅｌａｓｔｉｃｂａｃｋｓｃａｔｔｅｒｉｎｇ，缩写为ＥＢＳ）来测定薄膜中的氧含量，这个方法对于厚度为几十纳米到几个微米的样品，测量精度约５％。采用ＲＢＳ分析并结合ＥＢＳ分析，可全面测得薄膜中各元素的含量
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提出了用能量为１．５－２．５ＭｅＶ的质子弹性背散射分析（ｅｌａｓｔｉｃｂａｃｋｓｃａｔｔｅｒｉｎｇ，缩写为ＥＢＳ）来测定薄膜中的氧含量，这个方法对于厚度为几十纳米到几个微米的样品，测量精度约５％。采用ＲＢＳ分析并结合ＥＢＳ分析，可全面测得薄膜中各元素的含量。
It has been proposed to measure the oxygen content in a thin film by using proton elastic backscattering (EBS) with an energy of 1.5 to 2.5 MeV. This method is effective for samples having a thickness of several tens of nanometers to several micrometers, About 5%. Using RBS analysis combined with EBS analysis, can fully measure the content of the elements in the film.
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