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介绍了利用激光光谱分析法测量介质厚度的一种高精度测量方法,与一般的测厚方法不同,测量越薄的介质,精度越高,并解释了其原理。通过激光垂直照射平板基体上的介质,利用光谱仪分析仪来精确测定相邻带波数差Δ(1/λ),利用简洁、方便的检测过程和计算,精确地得到介质的厚度。
光谱法精密测厚的应用设计
【摘 要】
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介绍了利用激光光谱分析法测量介质厚度的一种高精度测量方法,与一般的测厚方法不同,测量越薄的介质,精度越高,并解释了其原理。通过激光垂直照射平板基体上的介质,利用光谱
【机 构】
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新疆维吾尔自治区计量测试研究院
【出 处】
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计量与测试技术
【发表日期】
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2009年2期
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