C语言在椭圆偏振测厚技术计算中的应用

来源 :南昌大学学报（工科版） | 被引量 : 0次 | 上传用户：mytollen

【摘要】

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依据椭圆偏振法测定透明薄膜的有关数据,运用C程序语言,通过迭代程序设计,由计算机同时计算出薄膜厚度和折射率.结果表明:薄膜折射率和厚度的测定误差分别小于0.2%和1nm.并克

【作者】

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杜军徐丽金卢孟文

【机构】

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南昌大学环境与化学工程学院,江西南昌330029诚志股份有限公司草珊瑚分公司,江西南昌330002;

【出处】

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南昌大学学报（工科版）

【发表日期】

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2000年3期

【关键词】

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椭圆偏振测厚技术 C语言折射率薄膜厚度

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依据椭圆偏振法测定透明薄膜的有关数据,运用C程序语言,通过迭代程序设计,由计算机同时计算出薄膜厚度和折射率.结果表明:薄膜折射率和厚度的测定误差分别小于0.2%和1nm.并克服了TP-77型椭偏仪只能用于n≤2.6透明材料测定的限制,实现了对诸如多晶硅等薄膜厚度和折射率的精确测定.这对高折射率材料薄膜的研究和开发具有现实的意义.

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