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期刊论文
MEMS热式微流量传感器发展综述
MEMS热式微流量传感器发展综述
来源 :中国西部科技 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhangdong1231
【摘 要】
:
MEMS热式微流量传感器具有灵敏度高、量程宽、响应时间短等优点,在生化医疗等领域具有重要的实用价值和意义。本综述首先介绍了MEMS热式流量传感器的工作原理和基本结构,随后
【作 者】
:
张元
李辉
【机 构】
:
芜湖科技创新服务中心,安徽师范大学物理与电子信息学院
【出 处】
:
中国西部科技
【发表日期】
:
2015年01期
【关键词】
:
微流量传感器
MEMS
热温差
灵敏度
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MEMS热式微流量传感器具有灵敏度高、量程宽、响应时间短等优点,在生化医疗等领域具有重要的实用价值和意义。本综述首先介绍了MEMS热式流量传感器的工作原理和基本结构,随后阐述了此类传感器的分类、发展历史与技术特性,最后展望了其今后的发展趋势和应用前景。
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