【摘 要】
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本文报导了Au-Zn/Au-Sb/GaP体系在520℃~560℃合金化温度下能得到较好的欧姆特性,观察到欧姆接触特性与合金化后界面形成的不规则小岛密切相关;从理论上解释了小而密的小岛能
【机 构】
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浙江大学,浙江大学,浙江大学,浙江大学
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本文报导了Au-Zn/Au-Sb/GaP体系在520℃~560℃合金化温度下能得到较好的欧姆特性,观察到欧姆接触特性与合金化后界面形成的不规则小岛密切相关;从理论上解释了小而密的小岛能得到较低的比接触电阻的事实。同时,提出了Au-Zn/Au-Sb/GaP体系呈现良好欧姆接触的微结构模型。
In this paper, the better ohmic properties of Au-Zn / Au-Sb / GaP system at 520 ℃ ~ 560 ℃ are reported. It is observed that the ohmic contact properties are closely related to the irregular islands formed at the interface after alloying. It is theoretically possible to explain the fact that smaller and dense islets can achieve lower specific resistance than contact. At the same time, the microstructure model of Au-Zn / Au-Sb / GaP system that exhibits good ohmic contact is proposed.
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