【摘 要】
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在文献[1]中介绍了一种供检查微型线路的红外扫描显微镜。该仪器技术性能较好而且记录方法简便。但同时又存在一个很严重的缺陷——其读数既随时间变化又不稳定。为了说明不
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在文献[1]中介绍了一种供检查微型线路的红外扫描显微镜。该仪器技术性能较好而且记录方法简便。但同时又存在一个很严重的缺陷——其读数既随时间变化又不稳定。为了说明不稳定的主要原因,请参看图1.α.。图上简略地示出显微镜光学系统的红
An infrared scanning microscope for inspecting microcircuits is described in [1]. The instrument has good technical performance and easy recording method. But at the same time there is a serious flaw - its readings vary over time and are not stable. To illustrate the main causes of instability, see Figure 1.α .. The figure shows schematically the red of the microscope optical system
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