四极质谱仪在光阴极转移系统中的应用

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介绍了四极质谱仪在光阴极转移系统中的应用。分别论述了四极质谱仪对光阴极转移系统的检漏原理与方法,并对系统内光阴极有害的主要残气成分进行了分析。 The application of quadrupole mass spectrometer in photocathode transfer system is introduced. The principle and method of the leak detection of photocathode system were discussed respectively, and the components of the main residual gas harmful to the photocathode in the system were analyzed.
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