超微细加工技术

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一部分人把现在甚至称为第二石器(硅石器)时代,可见与硅有关的工业增长已显示出惊人的发展。特别显著的是硅半导体器件的高度集成化,作为超LSI而占有引人注目位置的256k动态RAM(随机存取存贮器)正进入大量生产阶段。像这样高集成度、高性能的LSI已能够低价格地大量供应,可以说这必将加速高度信息化时代的尽快实现。 Some people now even call the second stone (silica) era, showing that the silicon-related industrial growth has shown astonishing development. Particularly remarkable is the high degree of integration of silicon semiconductor devices, which occupy an attractive spot as a super LSI 256k dynamic RAM (random access memory) is entering a mass production stage. Like this highly integrated, high-performance LSI has been able to supply a large number of low-cost, it can be said that this will accelerate the era of highly informative as soon as possible.
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